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4"
Wafer Carrier (Ultrapak)
Assembly
overall size |
163mm×146mm×120mm
(6.4"×5.8"×4.7") |
Cassette |
D1 |
14.53mm
(0.57") |
Pitch |
4.76
(0.19") |
Overall
size |
143mm×126mm×108mm
(5.6"×5.0"×4.3") |
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wafer 
